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熱處理是提高機械零件性能、可靠性和使用壽命的重要基礎工藝。熱處理可以充分挖掘和發揮金屬材料的潛力，使機械零件在各種使用條件下充分滿足性能要求和使用壽命。真空熱處理的優點是無氧化、脫碳、無污染；工件表面光滑，畸變小；綜合機械性能優異；工藝適用范圍廣；自動化程度高；生產效率高；產品質量穩定；節能等優點。真空熱處理可廣泛應用于退火、回火、油（氣）淬火、高壓（高流量）氣淬火、真空滲碳、真空燒結、真空釬焊等領域。
真空熱處理的工藝特點是真空脫氣、真空脫脂、真空凈化和真空保護。
真空脫氣效果：鋼零件在真空加熱過程中，降低爐壓，即提高真空度，鋼中殘留氣體(H、N、CO等。)會逃逸(脫氣)，從而提高鋼材零件的機械性能。真空淬火后，工模零件的塑性和沖擊韌性會提高，從而延長使用壽命。
真空脫脂功能：真空脫脂爐廣泛應用于金屬箔、拉絲線、小孔網等金屬零件的精密脫脂處理。由于附著在這些物體上的油屬于普通脂肪族，是碳、氫、氧的化合物，其蒸汽壓力較高，在真空中加熱時會迅速分解為水蒸氣、氫、二氧化碳等氣體，容易蒸發，被真空泵抽走。但在真空熱處理前，工件仍應清洗并放入爐內。避免大量油污染爐和真空泵汕頭，以免損壞真空泵的性能。
真空凈化效果：金屬表面有氧化膜、輕微銹蝕、氮化物、氫化物等，在真空中加熱時，這些化合物被還原、分解或揮發消失，使工件表面光滑。
真空保護：當幾乎所有的金屬在氧化氛圍中加熱時，它們會氧化金屬表面，失去金屬的光澤，真空加熱可以保持金屬材料原有的表面亮度。